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[会议论文] 作者：赵玉龙;蒋庄德;王文襄;赵立波;,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
采用高能氧离子注入SIMOX(Separation by Implanted Oxygen)制作固态压阻式传感器芯片的介质隔离SiO层.论述了微细加工制作耐高温SOI(Silicon on Insulator)平膜压力芯片的制...
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