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[期刊论文] 作者:张泽明,黄利平,赵继丛,田凌,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2015
在晶圆等离子刻蚀过程中,静电吸盘对调节和控制晶圆表面温度均匀性、保障晶圆加工质量起着重要作用。本文对静电吸盘的传热以及温度控制方法进行了仿真研究。首先对静电吸盘...
[期刊论文] 作者:赵继丛,黄利平,陈俊宇,田凌, 来源:图学学报 年份:2017
为解决仿真资源重用度低和仿真执行效率低等问题,设计并实现了一个面向模型重用的仿真云服务平台(SCSP)。针对仿真流程中的需求分析,采用分层的B/S架构,包括界面层、应用层、...
[期刊论文] 作者:李荧,谷志新,高安妮,李宇昂,赵继丛,刘东旭, 来源:林业机械与木工设备 年份:2021
设计并开发了一款基于无线WIFI视频采集模块为核心的智能巡航机器人,以Arduino开源硬件、18b20温度传感器模块、LN298电机驱动为基础模块,利用手机APP控制大棚监测系统。该系...
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