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[期刊论文] 作者：路孟喜,曹健,,
来源：半导体技术 年份：2007
简要说明了红外辐射测量技术的工作原理与理论基础以及红外测量的特点。MOCVD硅片外延生长过程中反射率是实时变化的，但传统红外测量方法无法实现反射率的实时测量，因此造成较......
[期刊论文] 作者：赵英伟,路孟喜,,
来源：半导体技术 年份：2006
提出了贝叶斯网络技术在故障诊断中的一种应用，介绍了基于贝叶斯网络的故障诊断技术的基木概念和原理，分析了故障节点和维修节点之间相互作用的关系。应用GeNIe决策系统软件，以P......
[期刊论文] 作者：路孟喜,刘德明,
来源：电子工业专用设备 年份：2007
简要分析半导体设备中干扰产生的原因、危害及一般抗干扰的原则：从干扰形成的三要素入手，重点介绍半导体设备设计、制造及维修中一些行之有效的抗干扰的方法。...
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