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[会议论文] 作者：辛煜[1]方亮[1]陆新华[2]甘肇强[1]康健[1]叶超[1]程珊华[1]宁兆元[1],
来源：第四届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2001
利用CH和CF混合气体在微波等离子体ECR反应槽中不对基片加热和施加偏压的条件下沉积a-C:F膜.本文主要使用傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)技术来研究沉积气压、[CH]/[CF]流量比...
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