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[学位论文] 作者:邓愉凡,, 来源:西安理工大学 年份:2019
半导体材料技术是电子与微电子技术产业的核心,从20世纪开始,随着电子学和微电子技术的飞速发展,半导体材料技术也进步迅速。其中GaAs是备受关注的一种半导体材料,它的光电特性优越、应用也非常广泛。在半导体制造工艺迅速发展的同时,研究人员发现了一种改变材......
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