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[学位论文] 作者:邓鹏远,,
来源:哈尔滨工程大学 年份:2016
随着集成电路深亚微米工艺的不断发展,Cu因其低电阻率以及良好的抗电迁移能力成为了新一代的互连材料。然而,Cu和Si元素扩散造成的污染是无法避免的。为了阻止Cu的扩散同时提...
[期刊论文] 作者:邓鹏远, 裴迪,,
来源:哈尔滨轴承 年份:2017
随着集成电路深亚微米工艺的不断发展,Cu因其低电阻率以及良好的抗电迁移能力成为了新一代的 互连材料.然而,Cu和Si元素扩散造成的污染是无法避免的.为了阻止Cu的扩散同时提...
[期刊论文] 作者:邓鹏远,瞿金凤,,
来源:哈尔滨轴承 年份:2013
采用射频磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了Ta-Si-N(10nm)/Ti(20nm)双层结构的扩散阻挡层。Cu/Ta-Si-N/Ti/Si样品在高纯氮气的保护下从600至800℃退火1小时。通过四...
[期刊论文] 作者:宋月杰,邓鹏远,
来源:机械研究与应用 年份:2021
对于低速大功率水力测功器的生产制造,目前国内在该领域并没有相应的技术标准以供参考。其关键部件中的转子作为一种大型铸造件,考虑到其零件特性及静平衡要求均与汽轮机叶轮...
[期刊论文] 作者:裴迪, 邓鹏远, 刘志军, 王力,,
来源:表面技术 年份:2019
目的探究NbC涂层作为惰性涂层在模拟体液中的耐腐蚀性能及血液相容性能,并为NbC涂层作为生物惰性涂层改善316L不锈钢心血管支架的表面性能提供参考依据。方法采用物理气相沉...
[期刊论文] 作者:邓鹏远,裴迪,温丽超,
来源:哈尔滨轴承 年份:2018
论述了采用射频磁控溅射技术在316L不锈钢上制备Zr C涂层的技术。通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)等实验,研究了Zr C涂层的物......
[期刊论文] 作者:邓鹏远 袁智威 程龙,
来源:科技信息·中旬刊 年份:2018
摘要:在现今机械产业及现代科技快速发展的推动下,使得机械产品设计所采用的技术也在不断的优化及完善,尤其是在现今信息化、自动化等技术高速发展的背景下,使工业行业对对其产品的功能及质量提出了更多的要求。为此在进行机械产品设计的过程中则需要采取适当的技术......
[期刊论文] 作者:胡家英, 孙静蔚, 邓鹏远,,
来源:福建茶叶 年份:2018
《茶经》作为中国茶文化的核心典籍,是中国乃至世界现存最早、最完整、最全面详细的介绍茶的第一部专著,被誉为“茶叶百科全书”.《茶经》的英译对于茶文化的传播和继承都有...
[期刊论文] 作者:宋月杰,邓鹏远,李所军,
来源:装备维修技术 年份:2021
随着城市轨道交通建设方兴未艾,轨道车辆检修工作日益繁重,机械化作业更有利于提高工作效率和安全性。而检修设备的维护更需要认真对待,针对转向架静载试 验台轮重测量装置的...
[期刊论文] 作者:吕朝刚, 苏祥, 邓鹏远, 宋泽辉, 额热艾汗,,
来源:化工设计通讯 年份:2019
围绕有关清洁能源耦合互补的沼气发酵池保温装置设计研究,在前人的研究成果上进行了汇总和归纳,主要阐述有关清洁能源应用技术发展状况和多能源耦合互补供热技术的理论研究成...
[期刊论文] 作者:宋泽辉, 吕朝刚, 邓鹏远, 苏祥, 额热艾汗,,
来源:化工设计通讯 年份:2019
以综合能源系统为研究对象,首先阐明对其进行研究分析的社会效益和经济价值,接着对综合能源系统概念、分类和特点进行介绍,最后指出综合能源的关键性技术和其中的重、难点部...
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