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[会议论文] 作者：蓝慕杰,陈伟平,王东红,邢树先,张雅茹,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
利用KOH对硅化学腐蚀的各向异性特性和硅片静电键合技术制作了垂直结构压电驱动无阀微泵,利用液柱高度差及闭环流动系统测量了泵压和流速.初步结果表明,泵特性除与外加电压有...
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