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[会议论文] 作者：邱丽荣[1]赵维谦[2]沙定国[1],
来源：中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会 年份：2006
提出一种新的改善光触针类测量传感器空间分辨力的位相型差动共焦测量方法.该方法通过具有横向超分辨能力的位相型光瞳滤波器最大程度地改善共焦测量系统的横向分辨力,通过差...
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