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[期刊论文] 作者：邱延辉,
来源：微细加工技术 年份：1988
薄膜的生长质量与衬底温度有很大关系。等离子体淀积薄膜时,衬底温度一般在100—400℃范围内,控温精度为±5℃左右。在通常的使用环境中,这是不难实现的。但对等离子体淀积...
[期刊论文] 作者：邱延辉,杨松林,魏唯,
来源：微细加工技术 年份：2004
本文描述了RIE终点检测系统对高频辐射干扰的抑制,提出几种解决高频干扰的方法This article describes the RIE endpoint detection system for high-frequency radiation...
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