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[会议论文] 作者：邵阳[1]肖祥[1]张盛东[2]王龙彦[3],
来源：2014中国平板显示学术会议 年份：2014
本文采用阳极氧化的方式生长了Ta2O5薄膜,该阳极氧化Ta205薄膜是非晶的,并且具有很大的电容(135nF/cm2),相应的介电常数为24.利用该高介电常数(high-k)的Ta2O5作为栅介质,在...
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