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[学位论文] 作者：邹习习,,
来源：华中科技大学 年份：2017
国内外目前在设计MPCVD时总是把重点放在微波源的耦合方面,忽视其作为CVD设备本身应考虑的重要设计,这导致在设计时出现明显的短板。有鉴于此,本文提出了水平流MPCVD的概念并...
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