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[期刊论文] 作者：金红杰,郎清华,,
来源：半导体技术 年份：2009
论述了扩展电阻分布法的基本原理和具体操作方法,该法中两个精确排列的探针,沿着被测晶片的磨制斜面边移动,边测试,得出系列数据。二探针扩展电阻分布法采用平式针尖无凹痕接...
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