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[学位论文] 作者：郑居林,,
来源：西安电子科技大学 年份：2020
我们处在一个电子信息产业迅猛发展的时代,而微电子产业是电子信息产业的支柱,在过去的几十年中,以Si为代表的半导体材料的应用让集成电路产业得以飞速发展。但随着科技的发展,半导体器件集成度要求的提高,半导体器件的尺寸变得越来越小,传统的Si材料面临着技术......
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