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[学位论文] 作者:郑慈航, 来源:上海交通大学 年份:2011
采用PZT压电陶瓷制备的压电悬臂梁,是制备振动能量采集器的关键元件。本文详细介绍了压电悬臂梁的制备步骤,并着重探讨了其中最为关键的PZT铁电薄膜制备以及器件流片工艺。本...
[期刊论文] 作者:李倩倩,尹桂林,郑慈航,余震,何丹农,, 来源:材料保护 年份:2011
为了提高MoS2薄膜在室温潮湿大气条件下的摩擦磨损性能,通过磁控反应溅射制备了MoS2/Ti/C复合薄膜。采用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的成分、......
[期刊论文] 作者:于宁宁, 王管, 童启邦, 郑慈航, 郭勇, 来源:环境科学与技术 年份:2018
[期刊论文] 作者:郑慈航,唐刚,刘景全,尹桂林,余震,何丹农,, 来源:传感器与微系统 年份:2011
针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率...
[期刊论文] 作者:郑慈航,童启邦,陈茂莲,陈亚萍,郭勇, 来源:山东化工 年份:2020
清淤尾水由于其沉降时间长,极大地限制了环保疏浚的发展。利用化学混凝法以聚合氯化铝(PAC)为絮凝剂、聚丙烯酰胺(PAM)为助凝剂处理清淤尾水,探究了快速搅拌阶段转速和时间、...
[期刊论文] 作者:郑慈航,唐刚,刘景全,李以贵,余震,何丹农,杨春生, 来源:压电与声光 年份:2011
采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技......
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