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[会议论文] 作者：张淼,陈沫,孙静,孙松梅,郑有赞,
来源：2014中国平板显示学术会议 年份：2014
本文论述了液晶显示器制造中铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜晶体管的工艺改进.通过一系列实验来选取合适的工艺条件来改善产品特性.较高的IGZO沉积温度、刻蚀阻挡层淬火温度以及较高...
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