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[学位论文] 作者:郝中洋, 来源:哈尔滨工业大学 年份:2012
步进扫描光刻机的研发工作是国内的重大科技专项之一,本文以光刻机工件台和掩模台控制系统研究为背景,为满足曝光扫描时各个子系统的任务调度、大量数据传输和工件台与掩模台的......
[期刊论文] 作者:谢妮慧,郝中洋, 来源:航天返回与遥感 年份:2019
为了给红外探测器提供稳定可靠的温度环境,文章提出了一种以现场可编程逻辑门阵列(FPGA)为核心逻辑控制单元的高精度制冷控制系统,与传统以微处理器为核心的制冷控制系统相比...
[期刊论文] 作者:武志鹏,陈兴林,郝中洋,, 来源:组合机床与自动化加工技术 年份:2012
为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击为优化指标,设计了加速时间段内的5阶S曲线...
[期刊论文] 作者:郝中洋,何海燕,于飞,李超,李婧,, 来源:航天返回与遥感 年份:2018
扫描系统可以使光学遥感器获得更大的成像幅宽。为实现大角度扫描,光学系统采取扫描主镜和半角随动镜的两轴形式。文章对光学遥感器扫描系统两轴随动的同步控制问题进行了研究,针对两轴随动装置周期性较强的特点,提出在主从同步系统的常规PID控制系统基础上增加......
[期刊论文] 作者:蒋婷婷,李奇,徐之海,郝中洋, 来源:航天返回与遥感 年份:2022
在空间目标观测时,既需要大视场的全局掌控,也需要局部细节的精细观察.而凸轮变焦方法对镜组间的轴向位移需求较大,对运动机构的精度和行程提出很高的要求.为了解决长行程的问题,文章提出一种基于垂轴运动的光学变焦方法:首先,建立自由曲面透镜组数学模型;然后,......
[期刊论文] 作者:崔辰鹏,刘雪峰,陈子印,郝中洋,, 来源:计算机测量与控制 年份:2017
为解决空间斯特林制冷机和探测器热负载不确定及存在变化的问题,提出了自适应模糊PID制冷控制;在空间环境中使用的斯特林制冷机参数会随着时间的变化而发生改变,探测器负载也会......
[期刊论文] 作者:刘成,于飞,丁琳,宋莉,黄刚,郝中洋,李超,林喆, 来源:航天返回与遥感 年份:2019
文章针对空间遥感器镜面由于应力释放和温度变化等引入像差的问题,利用连续表面变形镜校正像差展开解耦控制技术研究。对于基于Zernike系数求解影响矩阵的传统方法的波前复原...
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