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[学位论文] 作者：郭照沛,,
来源：大连理工大学 年份：2009
随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,SU-8光刻胶作为制作高深宽比结构的首选胶,已经被广泛地应用于MEMS研究领域。然而SU-8胶在工艺过程中会产生很大的内应力,导致在后续的工艺...
[期刊论文] 作者：石学伟,郭照沛,,
来源：重工与起重技术 年份：2012
介绍了卷取机上扇形板通过制作专用车胎在卧式车床上实现外圆加工,保证加工精度及装配精度的加工工艺方法。The paper introduces the processing method of fan plate on...
[期刊论文] 作者：杜立群,郭照沛,张晓蕾,,
来源：高分子材料科学与工程 年份：2010
运用分子动力学模拟软件Materials Studio针对SU-8胶与Ni基底的结合性进行模拟分析,计算了不同前烘温度下SU-8胶与Ni（100）面的结合能,发现在343K的前烘温度下,光刻胶与基底的界...
[期刊论文] 作者：杜立群,郭照沛,张晓蕾,,
来源：高分子学报 年份：2010
应用分子动力学模拟软件Materials Studio构建SU-8光刻胶与Ni基底的界面结构,研究后烘温度对界面结合性的影响.结合工艺中所采用的后烘温度,模拟计算了338～368K时Ni基底上SU-8...
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