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[学位论文] 作者:鄢淦威, 来源:华中科技大学 年份:2023
随着现代设备不断更新,新兴行业对于产品的加工精细度要求越来越高,对零部件微结构的精密、快速检测,也越来越重要。光学干涉的形貌测量方法因其高灵敏度和高精度的特性正获得广泛应用,但如传统白光干涉仪,使用二维面阵相机拍摄完全部三维干涉图像后才能获得高......
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