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[期刊论文] 作者：里见忠笃,章亚男,
来源：光学精密工程 年份：1998
以前期研究工作为基础，分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生，而引起其定位精度劣化的内在原因。提出了通过减小节流孔孔径，改变节流孔结构形式等方法来抑制工作台自激振动......
[期刊论文] 作者：里见忠笃,赵玉明,,
来源：半导体设备 年份：1984
1.绪言空气静压导轨有如下特点:①静摩擦和动摩擦非常小。②需要的流体在眼前几乎是无限的。③没有由于渗漏而不适用的场合。④热影响小。⑤导轨部精度永久不会下降等。最近...
[期刊论文] 作者：里见忠笃,赵玉明,,
来源：半导体设备 年份：1984
1.绪言由于空气静压导轨在正确使用时,摩擦、泄漏、热等的影响极小,其精度永久不会下降等原因,所以,近几年在电子元器件制造设备和测量仪器等方面应用越来越广。通过从四十...
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