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[期刊论文] 作者：王祖强,王丹名,林伟,吕祖彬,张宇,金永珉,,
来源：材料导报 年份：2011
采用等离子增强化学气相沉积工艺在硅片上制备a-Si：H薄膜，用傅里叶变换红外光谱仪测试薄膜的红外光谱吸收峰。研究了衬底温度、工艺压强和氢气稀释比对a-Si：H薄膜中氢含量的影响......
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