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[期刊论文] 作者:钟义顺, 来源:大科技·C版 年份:2018
摘 要:Color Filter是TFT_LCD的重要组成部分,也是其性能参数的重要决定因数。Rework生产线是彩色过滤片(简称CF)各段制程产生的不良基板回收处理设备。本文简单介绍了CF结构及不同线体制程发生的NG Glass基板,回收至Rework设备时,对应的Rework处理流程(Etch(蚀刻)处理流......
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