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[期刊论文] 作者：李恒,钟星不,
来源：半导体技术 年份：1999
对微波肖特基中、低势垒二极管硅化物的工艺技术进行了研究。用Ｎｉ－Ｓｉ硅化物作中势垒硅化物，用Ｔｉ－Ｓｉ硅化物作低势垒硅化物。通过设计和工艺实验，得到温度、时间、真空度等取佳工艺技术条件......
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