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[期刊论文] 作者：钱三德,
来源：薄膜科学与技术 年份：1990
...
[期刊论文] 作者：李奇志,钱三德,
来源：真空科学与技术 年份：1994
使用一氧化碳作碳源气体，用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅上制备金刚石薄膜，分析氧对金刚石生长的影响。...
[期刊论文] 作者：钱三德,陈立仁,
来源：合肥工业大学学报 年份：1984
根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规...
[期刊论文] 作者：黄锡森,钱三德,
来源：合肥工业大学学报 年份：1984
本文介绍在φ26mm和φ32mm N型硅片上扩散形成P-N结和电阻网络加热器,将其制成的规管接入真空系统,用U型计,复合真空计进行对比测量,得到在760～10~(-4)托范围内的校正曲线,可...
[期刊论文] 作者：李奇志, 钱三德, 袁磊,,
来源：真空科学与技术 年份：1994
使用一氧化碳作碳源气体，用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅上制备金刚石薄膜，分析氧对金刚石生长的影响。...
[期刊论文] 作者：陈立仁,王先路,钱三德,李自鹏,,
来源：真空与低温 年份：1985
热传导真空计是利用低压强下气体热传导与压强有关的原理来进行工作的。热传导真空计有电阻型和热电偶型两种,由于它们工作温度低,测量时对测量对象影响小、结构简单,不怕氧...
[期刊论文] 作者：钱三德,王先路,李自鹏,黄锡森,陈立仁,
来源：合肥工业大学学报 年份：1984
根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规管在760～10~(-5)托压强变化范围内有较高的灵敏度,可望作为测量从粗真空到高真空宽量程的......
[期刊论文] 作者：黄锡森,王先路,李自鹏,陈立仁,钱三德,
来源：合肥工业大学学报 年份：1984
本文介绍在φ26mm和φ32mm N型硅片上扩散形成P-N结和电阻网络加热器,将其制成的规管接入真空系统,用U型计,复合真空计进行对比测量,得到在760～10~(-4)托范围内的校正曲线,可望作为真空测量的一种新量规。......
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