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[期刊论文] 作者：赵辉,阳志林,何方,,
来源：数字化用户 年份：2017
薄膜晶体场效应管制造过程中,一般采用干法刻蚀(Dry Etch)方式开出设计过孔(Via hole)宽幅和合适的坡度角(Profile).干法蚀刻过程中功率(Power)、压力(Pressure)、蚀刻气体流...
[期刊论文] 作者：何智兵,阳志林,闫建成,张林,
来源：原子能科学技术 年份：2010
采用辉光放电等离子体聚合技术,在不同制备参数条件下,制备了辉光放电聚合物（GDP）薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱对GDP薄膜的化学结构组成进行了分析,采用纳米压痕技术对GDP...
[期刊论文] 作者：李广圣,顾葆华,阳志林,何方,赵辉,
来源：名城绘 年份：2017
ITO 透明导电薄膜通常采用磁控溅射技术制备在FFS（边缘场开关）工艺中彩膜（Color filter）背面,用来屏蔽外来静电对边缘电场影响.直流反应磁控溅射成膜过程中温度及厚度对ITO薄膜透...
[会议论文] 作者：何智兵,阳志林,严建成,冯建鸿,张林,
来源：第十届中国核靶技术学术交流会 年份：2009
为了制备出符合ICF(惯性约束聚变)实验需求的GDP(辉光放电聚合物)靶丸，开展对GDP薄膜的力学与热稳定性能研究显得十分必要与迫切。本文采用辉光放电等离子体聚合技术制备了不...
[期刊论文] 作者：阳志林,何智兵,卢铁城,宋之敏,闫建成,
来源：原子能科学技术 年份：2010
采用低压等离子体聚合装置,在溴化钾单晶盐片上制备了气压、功率、反式二丁烯（T2B）与氢气流量比3个沉积参数系列的辉光放电聚合物（GDP）涂层。对3个系列涂层各自的红外光谱进行比......
[期刊论文] 作者：何智兵,阳志林,闫建成,宋之敏,卢铁城,,
来源：物理学报 年份：2011
采用低压等离子体聚合技术,通过调整工作气压和反式二丁烯(T2B)与H2流量比制备了辉光放电聚合物(GDP)涂层.利用傅里叶变换红外吸收光谱和元素分析法讨论了工作气压和T2B与H2...
[期刊论文] 作者：闫建成,何智兵,阳志林,陈志梅,唐永建,韦建军,
来源：物理学报 年份：2010
采用辉光放电聚合技术,在不同工作压强条件下在直径为350—400μm,厚度为2.5—3μm的玻璃微球上制备了辉光放电聚合物（GDP）涂层,并对玻璃/GDP微球模拟充气过程进行了热稳定性实...
[期刊论文] 作者：阳志林,何智兵,宋之敏,卢铁城,张宝玲,唐永建,,
来源：强激光与粒子束 年份：2010
用低压等离子体化学气相沉积法,以T2B和H2为工作气源,改变T2B与H2的流量比例制备了辉光放电聚合物（GDP）涂层。通过GDP碳氢涂层的傅里叶变换红外吸收光谱讨论了流量比例对其内部...
[期刊论文] 作者：于健,卢铁城,齐建起,温雅,王海平,文劲松,阳志林,王跃忠,,
来源：四川大学学报：自然科学版 年份：2010
以氧化钇为烧结助剂,在流动氮气气氛下,经1880 ℃保温10小时获得AlON陶瓷.将所得到的陶瓷样品研磨抛光后分别在氮气（常压）气氛下1750 ℃,1680 ℃,1650 ℃和真空（〈1.0×10^-...
[期刊论文] 作者：于健,卢铁城,齐建起,温雅,王海平,文劲松,阳志林,王跃忠,,
来源：四川大学学报（自然科学版） 年份：2004
以氧化钇为烧结助剂,在流动氮气气氛下,经1880 ℃保温10小时获得AlON陶瓷.将所得到的陶瓷样品研磨抛光后分别在氮气(常压)气氛下1750 ℃,1680 ℃,1650 ℃和真空(...
[期刊论文] 作者：唐定平,何智兵,陈志梅,谢征微,李玲,阳志林,闫建成,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2010
以H2、反式二丁烯(T2B)和四甲基硅烷(TMS)混合气体为工作气体,在不同TMS流量条件下,用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了Si掺杂辉光放电聚合物(GDP)薄膜.采用傅里叶变换...
[期刊论文] 作者：王跃忠,卢铁城,喻寅,齐建起,文劲松,王海平,肖磊,阳志林,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2009
以微米级的Al粉和纳米级Al2O3粉为原料，在N2气氛下，通过铝热还原法，进行了AlON粉体的合成。实验表明，在1873～1923K之间，AlON相开始形成，到2023K时得到纯相AlON粉体。通过拟抛物线规......
[期刊论文] 作者：黄霜霜,喻玥,马国永,赵辉,高文,沈建华,陈萍,阳志林,李连,
来源：液晶与显示 年份：2021
在TFT制程中,曝光工艺直接影响到薄膜的最终图案质量。为了分析与解决曝光色差问题,需对面板的点灯现象与制备工艺进行调查与研究。首先,通过扫描电子显微镜分析、错位曝光试...
[期刊论文] 作者：王跃忠,卢铁城,喻寅,齐建起,文劲松,王海平,肖磊,阳志林,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2004
以微米级的Al粉和纳米级Al_2O_3粉为原料, 在N_2气氛下,通过铝热还原法,进行了AlON粉体的合成.实验表明,在1873～1923 K之间,AlON相开始形成,到2023 K时得到纯相AlON粉体.通过...
[期刊论文] 作者：黄霜霜,喻玥,马国永,赵辉,高文,沈建华,陈萍,阳志林,李连峰,马新星,,
来源：液晶与显示 年份：2021
在TFT制程中,曝光工艺直接影响到薄膜的最终图案质量。为了分析与解决曝光色差问题,需对面板的点灯现象与制备工艺进行调查与研究。首先,通过扫描电子显微镜分析、错位曝光试验、数据分析等方法进行不良原因调查。同时,借助开源软件GIMP和Fiji进行图像处理得到......
[会议论文] 作者：王跃忠,温雅,魏念,喻寅,齐建起,文劲松,王海平,肖磊,阳志林,于健,卢铁城,
来源：第十五届全国高技术陶瓷学术年会 年份：2008
以微米级的Al粉和纳米级Al2O3粉为原料，在N2气氛下，通过铝热还原法，进行了AlON粉体的合成。实验表明，在1873~1923 K之间，AlON相开始形成，到2023 K时得到纯相AlON粉体。通过拟抛...
[会议论文] 作者：王跃忠,温雅,魏念,卢铁城,喻寅,齐建起,文劲松,王海平,肖磊,阳志林,于健,
来源：第十五届全国高技术陶瓷学术年会 年份：2008
以微米级的Al粉和纳米级Al2O3粉为原料，在N2气氛下，通过铝热还原法，进行了AlON粉体的合成。实验表明，在1873~1923 K之间，AlON相开始形成，到2023 K时得到纯相AlON粉体。通过拟抛物线规则计算得到AlON的摩尔生成吉布斯能，进而算得AlON相形成的转变温度为1887 K。热力学分......
[期刊论文] 作者：王跃忠，卢铁城，喻寅，齐建起，文劲松，王海平，肖磊，阳志林，于健，温雅，魏念，WangYuezhong，LuTiecheng，YuYin，QiJianqi，WenJinsong，WangHaiping，,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2009
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