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[学位论文] 作者:陆冰睿,, 来源: 年份:2010
纳米科技是20世纪80年代末逐步发展起来的一门新兴的前沿交叉学科领域,纳米电子学、纳米光学、纳米材料、纳米机械、纳米生物学共同组成的纳米高技术群体大大拓展和深化了人...
[会议论文] 作者:陆冰睿, 来源:2011上海半导体材料学术年会 年份:2011
[期刊论文] 作者:于航,陆冰睿,陈国平,刘冉,, 来源:传感器与微系统 年份:2013
成功开发出以劳厄干涉为基础的激光干涉光刻系统与工艺,该工艺可在大面积范围内加工二维周期性图形,非常适合于生产光电子器件和微电子器件的周期性结构。通过实验研究了使用...
[期刊论文] 作者:郭红斌,陈国平,兰文升,陆冰睿,刘冉,, 来源:传感器与微系统 年份:2011
成功制作出一种用于检测有机磷农药的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控传感器,该传感器集成了光纤和用于固定有机磷水解酶的SU—8圆柱。检测原理基于反应产物对光的吸收,不同浓度有...
[期刊论文] 作者:疏珍,万景,陆冰睿,谢申奇,陈宜方,屈新萍,刘冉,, 来源:半导体学报 年份:2009
We developed a simplified nanofabrication process for imprint templates by fast speed electron beam lithography(EBL) and a dry etch technique on a SiNx substrat...
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