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[期刊论文] 作者：陆民山,杜冰莹,陈宣兆,,
来源：光电子.激光 年份：2004
本文介绍了采用激光干涉法监视Si晶片上的SiO_2(或Si_3N_4等)层的腐蚀终点。对监视原理作了比较详细的理论分析,并使用我们研制的样机进行了实地测试。其监视结果表明,检测的...
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