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[学位论文] 作者:陆铭洋, 来源:陆铭洋 年份:2020
陀螺仪是用于测量物体角速率的惯性传感器件,是惯性导航领域的重要基础组件之一,被广泛应用于工业生产、消费电子及特殊用途等领域。基于MEMS技术的陀螺仪具有体积小、功耗低和可批量生产等优点,是未来器件集成化发展的重要方向之一。MEMS轴对称陀螺具有高度对......
[期刊论文] 作者:陆铭洋, 宣琳, 刘靖, 徐大诚, 郭述文, 来源:传感技术学报 年份:2022
硅微轴对称陀螺速率积分模式通过对振型的进动角检测来实现角度信号的输出。要实现角速率输出,通常采用微分来实现,而器件刚度和阻尼不对称会带来输出量的波动和噪声等误差,直接影响输出精度,同时导致输出阈值存在。在分析刚度和阻尼不对称误差模型的基础上,采用输出......
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