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[期刊论文] 作者：刘强,陈五奎冯加保耿荣军,
来源：科技风 年份：2017
摘 要：多线切割技术是目前最广泛的硅片切割技术，与其他技术相比具有效率高，产能高，精度高等优点，然而传统的多线切割技术通常是用三体磨损原理的砂浆切割方式，其砂浆由聚乙二醇及一定目数（1500/1800/2000）的碳化硅配比而成，切割过程不仅使碳化硅颗粒有不同程度的磨损，且......
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