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[期刊论文] 作者：常艳,陈官壁,汪雷,杨德仁,
来源：真空科学与技术学报 年份：2007
通过热丝化学气相沉积法（Hot Wire Chemical Vapor Deposition, HWCVD），采用间歇供应硅烷气体，持续通入氢气的方式控制硅薄膜的生长，发现该方法在有机衬底上生长的薄膜结构为多晶...
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