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[学位论文] 作者：陈沛丞,,
来源：电子科技大学 年份：2016
随着微机电系统(MEMS)的飞速发展,器件的尺寸变得越来越小,在微/纳米尺度下,薄膜的热学性能显得越发重要,其热性能的好坏直接决定着MEMS器件的稳定性。但是在尺寸效应的影响...
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