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[期刊论文] 作者：陈炯枢,,
来源：真空与低温 年份：2007
微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度，而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。介绍了近年来电子农光刻技术的研究进展及其在微，纳器件研制中......
[期刊论文] 作者：陈炯枢,陈学康,刘相,,
来源：科学技术与工程 年份：2007
阐述聚合物表面光引发接枝、辐射接枝、化学接枝等方面近年来的进展，对该项技术的发展提出了一些看法。...
[期刊论文] 作者：陈炯枢,陈学康,刘相,刘建喜,,
来源：真空 年份：2007
本文提出了一种新颖的结合自组装技术和电子束直写曝光以及选择性化学沉积制备图案化薄膜方法。利用X-射线光电子能谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)紫外可...
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