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[会议论文] 作者：駱文傑,林照閔,黃雍舜,陳兆雄,
来源：首届海峡两岸四地制冷空调工程节能减排新技术研讨会 年份：2010
目前12寸半导体晶圆厂随着制程精密度的提高，对整体生产环境与厂务供应需求也提高，如制程设备电力品质、洁净室洁净等级、制程排气系统、制程冷却水系统、纯水系统、制程气体系统、化学品供应…等之要求也相对严格，制程精密度提高所反映出来的运转成本也相对提高。......
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