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[期刊论文] 作者：难波义治,
来源：光学精密工程 年份：1993
短波光学技术的发展对高精密超光滑表面提出了严格要求。在X射线—极紫外光学中,光学元件表面粗糙度均方根值必须达到埃量级。制造这样表面的超精加工包括切割、研磨和抛光等...
[期刊论文] 作者：难波义治,肖昌林,
来源：国外金属加工 年份：1989
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