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[学位论文] 作者：雷祥洲,,
来源：华中科技大学 年份：2020
激光干涉测距技术凭借其非接触测量、高精度、高灵敏度、可溯源等优点,成为当前精密测量、定位与加工的主要技术工具。零差干涉激光测距由于光路相对简单,更是得到广泛应用。考虑到传统的空间分离的零差干涉光路容易受到环境干扰,而且相应的位移传感部分占用空......
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