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[学位论文] 作者：靳心惠,
来源：河南理工大学 年份：2023
金属氧化物半导体（MOS）气体传感器具有功耗少、体积小、检测速度快等特点,在对有毒有害及挥发性有机化合物（VOC）的检测方面得到了广泛应用。N型In2O3半导体材料具有较宽的禁带宽度、较高的电导率和较好的透光性,作为一种气敏材料,对VOC气体具有好的检测能力,同时也......
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