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[期刊论文] 作者：杜婷,李兴辉,韩攀阳,陈海军,蔡军,冯进军,
来源：传感器与微系统 年份：2020
对基于硅孔成型和玻璃—硅低温阳极键合实现微型气室的工艺技术进行研究。分析了不同基片表面状态、温度和电压对阳极键合工艺的影响并进行实验验证。基片表面气泡观察、气室...
[期刊论文] 作者：李兴辉,杜婷,韩攀阳,陈海军,蔡军,冯进军,
来源：传感器与微系统 年份：2021
碱金属原子气室是陀螺仪、磁力计和原子钟等原子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现微型化,是当今原子气室的重要发展方向。这些技术包括激光加工、超声波加工...
[期刊论文] 作者：郝广辉,韩攀阳,李兴辉,李泽鹏,高玉娟,
来源：物理学报 年份：2020
光电阴极的发射电流密度和寿命限制了其在功率器件和大科学装置中的应用.本文结合光电阴极和场发射阴极电子发射理论,设计了大电流密度的真空沟道结构光电阴极组件,并使用覆...
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