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[会议论文] 作者:韩高荣;孙玉琴;, 来源:第五届全国固体薄膜学术会议 年份:1996
以SiH〈,4〉作为原料气在N〈,2〉保护气氛下,采用常压化学气相沉积方法在普通浮法玻璃基板上沉积一层硅薄膜制备阳光控制硅镀膜玻璃。使用X光电子能谱、紫外-可见光谱等分析测试了试样的......
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