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[会议论文] 作者：顾宁[1]黄岚[1]王伟[1]廖建辉[1]张宇[1]张海黔[1]李昌敏[1]葛存旺[1]谭逸斌[1]彭力[2]赵丽新[2]沈浩瀛[3]陈堂胜[3]郝西萍[3],
来源：第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2001
本文所涉及研究的目标是借助普通光刻结合光刻胶工艺、结合分子组装工艺等的选择性化学沉积法来获得电极间距可小于100nm的电极,同时研究这种电极结构应用于诸如单电子器件、...
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