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[学位论文] 作者:顾经纶,, 来源:复旦大学 年份:2011
在摩尔定律的指导下,集成电路半导体器件的尺寸越来越小,但是不能无限缩小。在缩小到一定程度将达到它的物理极限,严重的短沟道效应和栅极泄漏电流将会出现。这对摩尔定律的...
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