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[期刊论文] 作者：颜亨迪,
来源：微细加工技术 年份：1993
本文简要介绍我国离子注入机的发展概况。...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,,
来源：微细加工技术 年份：1987
一、引言双等潘宁金属离子源综合了双等源和潘宁源的优点,它不仅可以获得多电荷态离子,而且利用溅射技术还可以产生各种金属离子。我们生产的LY—l型双等源,只适用于气...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,
来源：微细加工技术 年份：1995
本文介绍了注氧隔离的主要工艺设备及其在抗核加固、高温、高速等特种器件中的重要应用。...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,
来源：微细加工技术 年份：1995
本文介绍了在离子注入机上使用的去离子水冷却系统的结构、制水和使用效果。...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,
来源：微细加工技术 年份：1985
气固双等离子体离子源的实验中,在一定吸极电压下,观察到从离子源引出的离子束在吸入口处是收敛的(见图1)。束的截面在吸极口内有极小值,常称为束腰。离子束过吸极口后进入...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,
来源：微细加工技术 年份：1988
束流是离子注入机的一个重要技术指标,是生产注入机厂家和用户都特别关心的问题。人们通常用这个指标对同类型机器进行性能对比,来评价机器的优异程度。我们了解到不少机器...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,刘湘德,
来源：电子工业专用设备 年份：1994
本文概括介绍了超强流氧离子注入机的国内外现状及发展趋势，指出了国内在这一设备研制上的主要差距，对今后发展该设备提出自己的建议。...
[期刊论文] 作者：杨洪普,颜亨迪,
来源：微细加工技术 年份：1995
本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。...
[期刊论文] 作者：杨洪普, 颜亨迪,,
来源：微细加工技术 年份：1992
本文简要介绍了离子注入和器件的关系,概述了离子注入机的发展现状和趋势,初步探讨了我国离子注入机不能形成产业的原因。...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,林搌武,
来源：微细加工技术 年份：1983
一、引言随着器件工艺的不断发展,对离子注入机提出了更高的要求,70年代初的离子注入机只能获得几十微安的束流,称为弱流离子注入机。近年来,广泛采用的是中束流离子注入机,...
[期刊论文] 作者：颜亨迪,魏敖令,
来源：微细加工技术 年份：1985
DWY—84A型离子注入与离子束混合两用机 由东北工学院物理系研制的DWY—84A型离子注入与离子束混合两用机(见外形照片),于今年6月12日至13日通过鉴定。该机主要用于非半导体...
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