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[学位论文] 作者：颜钟惠,,
来源：湖南大学 年份：2013
随着便携式移动电子设备及新型显示技术的发展，低压氧化物薄膜晶体管吸引了众多研究者的关注。以往研究的氧化物薄膜晶体管，其工作电压一般都在20V以上，使得器件在使用的过程中......
[期刊论文] 作者：李想,颜钟惠,刘阳辉,竺立强,
来源：材料导报 年份：2013
以三甲基铝（TMA）和水为反应源，采用原子层沉积（AID）技术在n型单晶硅表面沉积15nm、30nm和100nm的Al2O3薄膜，并对样品进行快速退火（RTA）处理。采用少子寿命测试仪测试样品的有效少子寿......
[期刊论文] 作者：颜钟惠,王瑶,吴国栋,轩瑞杰,李想,
来源：材料导报 年份：2013
采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质，制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管。利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析......
[期刊论文] 作者：张耕铭,郭立强,赵孔胜,颜钟惠,,
来源：物理学报 年份：2013
本文在室温下制备了无结结构的低压氧化铟锌薄膜晶体管,并研究了氧分压对其稳定性的影响.氧化铟锌无结薄膜晶体管具有迁移率高、结构新颖等优点,然而氧化物沟道层易受氧、水...
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