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[期刊论文] 作者：马婷婷, 马书鯼, 张爱军,,
来源：电子器件 年份：2017
随着MEMS技术的飞速发展,可靠性问题逐渐成为MEMS器件在军事和商业中应用的重要阻碍。结合器件的工作环境,分别从高温、高温高湿、温度冲击、过电压、压力过载、温湿循环等环...
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