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[学位论文] 作者:马哲国, 来源:上海大学 年份:2003
该论文利用金刚石的宽禁带、高电阻率、低原子序数等优异性能,研制具有高信噪比、结构简单、抗辐射的单元金刚石薄膜粒子探测器.采用微波等离子体法(MPCVD)在硅衬底上制备高...
[期刊论文] 作者:吴科俊,陈金元,胡宏逵,马哲国,董家伟, 来源:中国科技信息 年份:2014
随着人类对能源需求的日益增加,太阳能作为一种可再生能源,越来越受到业界的广泛关注。其中硅基薄膜太阳能电池由于其材料成本低,环境污染少、弱光效应好、制备工艺简单、以...
[期刊论文] 作者:方志军,夏义本,王林军,张伟丽,马哲国,张明龙, 来源:物理学报 年份:2003
通过对Al2 O3陶瓷衬底进行碳离子预注入 ,大大降低了Al2 O3陶瓷衬底上金刚石薄膜的应力 ,且金刚石薄膜中的压应力随碳离子注入剂量的增加而线性下降 .通过对Al2 O3陶瓷衬底注...
[期刊论文] 作者:马哲国,夏义本,王林军,方志军,张伟丽,张明龙, 来源:光学学报 年份:2003
提出一种分析微波等离子体化学气相沉积工艺条件对金刚石薄膜的组成和光学性质影响的方法。采用红外椭圆偏振光谱仪来分析Si衬底上金刚石薄膜的组成和光学性质 ,研究微波等离...
[期刊论文] 作者:方志军,夏义本,王林军,张伟丽,张明龙,马哲国, 来源:光学学报 年份:2003
用红外椭圆偏振仪对热丝化学气相沉积法制备的金刚石薄膜的光学参量进行了测量。由于表面状态和界面特性的差异 ,分别对镜面抛光硅片和粗糙氧化铝基片上的金刚石薄膜建立了不...
[期刊论文] 作者:方志军,夏义本,王林军,张伟丽,马哲国,张明龙, 来源:中国物理快报(英文版) 年份:2002
We show the effective stress reduction in diamond films by implanting carbon ions into alumina substrates prior to the diamond deposition. Residual stresses in...
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