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[学位论文] 作者：马潇均,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2010
得益于纳米技术的促进作用,微机电系统(Micro Electro-Mechanic System, MEMS)和纳机电系统(Nano Electro-Mechanic System, NEMS)正在经历一个高速的发展时期。作为NEMS中一...
[期刊论文] 作者：马潇均,钟占荣,曹勇,杜如虚,,
来源：材料导报 年份：2010
随着先进制造技术的发展，许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级。由于纳米尺度的特殊性，宏观尺度下的界面性质将不再适用，因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统（MEMS......
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