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[会议论文] 作者：李秀琼,王纯,马祥彬,
来源：第六届全国电子束离子束光子束学术年会 年份：1991
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[期刊论文] 作者：李秀琼,王纯,马祥彬,杨军,
来源：半导体学报 年份：1992
一种新的半导体掺杂方法——电子束掺杂法成功地用于实现掺硼浅结.它是用辉光放电电子束辐照涂敷杂质源的半导体表面,形成高浓度(≥10~(20)/cm~3)、浅结(≤0.1μm)掺杂层.损...
[期刊论文] 作者：张立宝,葛璜,马祥彬,凌仲珪,
来源：半导体学报 年份：1986
采用原子比为Si(31％),Au(69％)的金硅合金,研制成了Au-Si共晶合金液态金属寓子源.描述了该离子源的制作方法、I-V特性、不同源电流情况下各种离子流峰值的变化.讨论了质谱分析结...
[期刊论文] 作者：陈春华,王纯,张立宝,马祥彬,李金荣,
来源：半导体学报 年份：2004
本文叙述了一种比较新颖的整体式液体镓离子源的制备工艺及挂镓方法;测量了在不同温度下的电流-电压关系;以及在特定电压下,电流随时间的缓慢变化;对于针尖的几何形状,即顶点...
[期刊论文] 作者：马祥彬,王纯,陈春华,张立宝,李金荣,凌仲珪,
来源：半导体学报 年份：1984
描述了研制的液体镓离子源的结构工艺,并对该离子源的电流与引出电压的关系,电流与温度的关系,亮度等进行了测试和讨论.该离子源的性能现已达到:亮度=1.3×10~(12)mA/cm~2·r...
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