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[期刊论文] 作者:郑东晖, 陈磊, 马致遥, 李金鹏, 胡晨辉,
来源:光学学报 年份:2022
为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位。引入评价参数误差抑制......
[期刊论文] 作者:马海颖,陈磊,王云涛,胡晨辉,黄晨,马致遥,郑东晖,
来源:光学技术 年份:2022
绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差.液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差.推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系,并通......
[期刊论文] 作者:马致遥,陈磊,郑东晖,马海颖,李若琨,黄晨,胡晨辉,
来源:红外与激光工程 年份:2022
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要.根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定.理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误......
[期刊论文] 作者:胡晨辉,陈磊,黄晨,马致遥,钱月,张喆,李若琨,郑东晖,
来源:光学学报 年份:2022
激光干涉仪中光学元件上的瑕疵、气泡和脏点等会在干涉图中引入类似“牛眼环”的相干噪声。为解决这一问题,提出一种基于多模光纤扩展光源的相干噪声抑制方法。该方法利用扩展光源抑制相干噪声,选择最优多模光纤纤芯保证良好的干涉条纹对比度,并使用复合散斑抑制技......
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