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[学位论文] 作者：马辰卉,,
来源：中北大学 年份：2019
随着MEMS技术的快速发展,智能化和微小化已变成当今时代的重大发展趋势,越来越多的产品向着智能化方向发展,基于传统测力仪中存在的局限性,其已不能满足现代加工对切削力测量的需求,为了实现切削力的实时监控与测量,本文设计了一种薄膜嵌入式刀具结构,并对其薄......
[期刊论文] 作者：马辰卉,武文革,王昕宇,成云平,刘丽娟,
来源：工具技术 年份：2019
设计了一种嵌入式薄膜热电偶的刀具,以实现在切削过程中对刀具瞬态温度的实时测量。以刀具的前刀面作为基底来镀制薄膜,通过磁控溅射法在刀具前刀面制备了Al2O3绝缘膜、NiCr/...
[期刊论文] 作者：马辰卉,武文革,伏宁娜,王昕宇,成云平,刘丽娟,
来源：工具技术 年份：2018
基于单晶硅靶材制备氮化硅薄膜的沉积参数正交试验,通过选择和研究溅射功率、工作压强、气体流量比和基底温度这四个因素,得到这四个因素对薄膜沉积速率和薄膜表面粗糙度的影...
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