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[期刊论文] 作者：高市侃, 刘雅珍,,
来源：低温与特气 年份：2004
一、前言半导体制造中所使用的气体,大多是可燃,有毒、腐蚀性气体,所以,在使用前必须了解它们的物理性质、化学性质、毒性及反应性等。半导体过程用气的种类列于表1。半...
[期刊论文] 作者：高市侃,浦洪培,
来源：石油化工译丛 年份：1991
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[期刊论文] 作者：高市侃, 崔基道,
来源：低温与特气 年份：1986
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[期刊论文] 作者：高市侃,崔基道,张应焞,
来源：低温与特气 年份：1986
用于半导体生产的电子气的种类和用途如表1所示。...
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