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[期刊论文] 作者：张俊敏,高泽冉,赵蔚,于威,
来源：化工设计通讯 年份：2020
研究了利用单一四元靶材进行一步溅射法制备的CIGS薄膜的特性。研究了工作气压、衬底温度、Mo背电极对CIGS薄膜性能的影响。研究发现,当CIGS直接沉积在玻璃基底上时,一步溅射...
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