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[学位论文] 作者：高金威,
来源：东北大学 年份：2019
随着科技的发展,现代社会对材料表面精度的要求越来越高,材料的高精度表面加工技术尤其是高精度非球面加工技术一直是研究的热点。磁流变抛光技术作为一种新型微纳米级别抛光技术,克服了许多传统抛光技术的缺点,在光学加工、半导体制造、机械加工等领域得到了广......
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